电镀设备

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DC111 Spray Coater
DCシリーズ スプレーコーター (立体レジスト塗布装置)

DC111 Spray Coater

本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。

1.MEMSデバイスに対応
2.凸凹面への膜厚均一塗布
3.ビア、トレンチ埋め込み塗布
4.ヒータ内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能です。
5.サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の弊社「Si-servo」を使用しています。
6.特殊仕様も承ります。

苏州 电镀清洗设备

山东电镀设备厂

高精度な膜厚均一塗布が可能
微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。
また、スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。
塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応します。膜厚は1μm~600μmまで可能です。(薬液特性によります。)

杭州电镀设备厂

AZエレクトロニックマテリアル社AZ-P4000シリーズ、化薬マイクロケム社SU8、KMPRシリーズなどの
超厚膜レジストをはじめ、ベンゾシクロブテン樹脂(BCB)、各種ポリマー等に対応します。
粘度の高い薬液の塗布も可能です。(薬液特性によります。)

四川电镀设备

必要最小限の面に塗布する為、スピンコーティングのような薬液の無駄がありません。
また、スプレー部至近にシリンジを配置している為、薬液管路での無駄は最小限です。

山东电镀设备厂

泰州电镀设备

項目 仕様
装置正式名称 DC111
呼称 スプレーコーター
形式 ノズル移動・試料固定型スプレー方式
試料台サイズ DC111:220×220mm □
ノズル移動範囲 DC111:縦横300mm
ノズル移動速度 10~300mm/秒
薬液量制御方式 薬液エア圧送およびマイクロニードルによる
粒子径 約5~15μm(使用流体によります)

江门电镀设备

項目 仕様
クリーンドライエア 5Kg/cm2(≒0.5Mpa) 15リットル/min以上
(空圧チューブ接続口 Φ6mmワンタッチ継手)
電源 DC111:1ΦAC100V 1800W
排気 外部より排気 2300リットル/分
(接続ダクト径 Φ100mm)

 外形寸法・重量

項目 内容
本体サイズ DC111:1000×650×680mm(H×W×D)
(突起部を含まず)
重量 DC111:100Kg

※本仕様の内容は製品改良のため予告無しに変更する場合があります。

 ご注文について


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